三坐標(biāo)測量儀就是在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(大型和巨型不一定有)，測頭可以以手動(dòng)或自動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來的一種測量設(shè)備。三坐標(biāo)測量儀是用來測量工件物體的尺寸包括尺寸之間的關(guān)系的，如長度，對稱度，直徑，圓柱度等尺寸和形位公差。

      激光干涉儀，是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。但是測量工件的儀器必須有移動(dòng)軸或者外部有移動(dòng)軸，若用激光干涉儀測量工件的長度就測不了。

      從上可以看出三坐標(biāo)測量儀和激光干涉儀兩者還是有本質(zhì)區(qū)別的。